設(shè)備儀器
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非接觸式顯微鏡
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非接觸式顯微鏡
Union
日本Union DH2高精度非接觸深度測量顯微鏡
采用光學(xué)和非接觸方法探測焦距的方法，測量不會給樣品造成變形或劃痕等影響，這些往往是采用物理性接觸測量時產(chǎn)生的。基于目標(biāo)分光方法原理的精密聚焦指示器的應(yīng)用，以簡單地把兩個目標(biāo)標(biāo)志部分重合起來進(jìn)行高精度的測量..
- 資料說明
■ 產(chǎn)品優(yōu)勢：
◎ 高精度的圖像自動聚焦系統(tǒng)的測量結(jié)果和精確度是很可靠的，沒有人為的因素。
◎ 通過電腦控制，可以完成多點(diǎn)的自動連續(xù)測量，高級的資料處理軟體可以極大的提高測量時間。
功能：
非接觸測量微細(xì)的撞擊、臺階等。
◎ 通過高精度的光學(xué)聚焦點(diǎn)檢測和精確的聚 焦指示器完成高精確的測量
◎ 簡單的操作
◎ Z軸測量行程可從幾個μm 到10mm
◎ 同時還可以完成測量點(diǎn)的表面觀察
觀 測 頭： 三目
Z軸測量范圍： 0.1μm 讀數(shù)，10mm 行程
Z軸測量精度： 3σ=1μm (40×)
光學(xué)鏡身： 精確的自動聚焦單元
物 鏡： 5× - 100×
測量軟體： 4種模式
資料處理軟體： 顯示最大值，最小值，平均值，標(biāo)準(zhǔn)偏差值等
應(yīng)用領(lǐng)域
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CT（可選項(xiàng)）
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